外觀:密閉槽體+控制面板,用于精密去除鏡片、透鏡表面污漬。
應用:實驗室、醫療器械、光學元件制造。
激光清洗設備?
外觀:集成激光頭與精密運動平臺,無接觸清除涂層或污染物。
應用:航天器件、半導體晶圓清潔。
等離子清洗機?
外觀:真空腔體+氣體輸入裝置,通過等離子體處理表面微塵。
應用:電子元件、光學鍍膜前處理。
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設備
原理:利用高頻超聲波在液體中產生的空化效應,形成微小氣泡沖擊污染物,實現無死角清潔。
特點:適用于批量清洗小型精密元件(如鏡片、晶圓),但對表面復雜結構或有膠合層的元件需謹慎。
流程:放入清洗槽→加入專用清洗液→超聲波處理→漂洗→干燥。
功能特征
模塊化設計
1. 可更換清洗槽、適配不同夾具(如晶圓夾盤、鏡片治具)。
2. 支持擴展功能(如清洗+烘干一體化)。
高效干燥系統
1. 熱風循環、氮氣吹干或真空干燥,確保無水漬殘留。
2. 干燥效率:鏡片表面濕度≤50ppm(百萬分之一)。
光學清洗設備三種不同技術類型對比
特征 |
超聲波清洗機 |
激光清洗機 |
等離子清洗機 |
清洗方式 |
液體空化作用 |
高能激光脈沖 |
等離子體化學反應 |
適用對象 |
小型精密元件(鏡片、晶圓) |
脆性材料、復雜形狀表面 |
金屬、陶瓷、高分子材料 |
優勢 |
成本低、批量處理 |
無接觸、超精準 |
表面改性+清潔一體化 |
典型應用 |
實驗室、醫療器械清洗 |
半導體、航天器件 |
電子封裝、光學鍍膜前處理 |