環境與工藝控制

   溫濕度穩定：閉環控制系統維持清洗液溫度±0.5℃精度，濕度控制防止靜電吸附。

   化學品管理：支持廢液回收與循環利用。

   防爆與安全：防爆門鎖及緊急停機功能。

 高效節能設計

   低耗水技術：采用“噴淋-回收”閉環系統，節水率可達60%以上。

   快速切換程序：支持多配方存儲（≥100組），換型時間＜15分鐘，適應多工藝場景。

   低能耗運行：變頻電機與熱能回收系統降低綜合能耗20%-30%。

 智能監控與數據分析

    在線檢測：集成SPC（統計過程控制）系統，實時監測顆粒計數、表面粗糙度（Ra＜0.1nm）等參數。

    預測性維護：通過電流監測提前預警泵體、閥門等易損件故障。

    數據追溯：存儲每片晶圓的清洗日志（時間/溫度/流量），支持ISO 26262功能安全認證需求。

典型應用場景

   邏輯芯片：7nm/5nm以下先進制程前道清洗

   存儲芯片：DRAM/NAND閃存蝕刻后去殘留

   功率器件：SiC/GaN等第三代半導體材料表面處理

   MEMS傳感器：微結構去膠及鈍化層清洗